SEM resolution
SEM用 解像度/較正基準 試料です。
<カーボン上 金蒸着>（SGC範囲）は、カーボン基板上に金結晶間の隙間の大小変化させています。
また、高解像度で階調再現品質評価に使用可能です。低倍率（<150倍）での焦点・位置決めを容易にします。
<カーボン上 錫球>（STC範囲）はSEM解像度、非点収差、像シフト測定のためのスタンダード製品です。
スズは安定した材料で、カーボン基盤に対し高いコントラストを提供します。
<シリコン校正試料>は、画像の歪みと倍率の比較・評価に優れています。
| Standard | Model | Description | Details |
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SGC5200 SGC5200J SGC5200H SGC5200U |
分解能測定用
Gold on Carbon Resolution Standard (5-200nm) on 12.5 pin (Null), on 10mm Jeol stub (J), on M4 threaded stub for Hitachi (H) or Unmounted (U) |
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SGC3030 SGC3030J SGC3030H SGC3030U |
低加速電圧用(ピンスタブ)
Low kV Gold on Carbon Resolution Standard (30-300nm) on 12.5 pin stub (Null), on JEOL stub (J), on Hitachi Stub (H), or unmounted (U) |
30 – 300nmの粒子サイズ低電圧分解能試験片です。 通常のカーボン上の金又はスズ標準片は低加速電圧での動作には適しておらず、スポットサイズが小さく且つ高走査レートで動作する時、低電圧又は信号対雑音比(SN比)が解像度劣化に起因する可能性がありますが、このサンプルは大小の金のかたまりが高いコントラストを与えます。 |
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SGC0350 | 高分解能用(ピンスタブ) Hi-resolution Gold on Carbon Resolution Standard (3-50nm) on 12.5 pin stub |
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| SGC0350U | 高分解能用(マウント無) Hi-resolution Gold on Carbon Resolution Standard (3-50nm) unmounted |
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SGC0230 | 超高分解能用(ピンスタブ) Ultra Hi-Resolution Gold on Carbon Resolution Standard (2-30nm) on 12.5 pin stub |
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| SGC0230U | 超高分解能用(マウント無) Ultra Hi-Resolution Gold on Carbon Resolution Standard (2-30nm)-Unmounted |
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STC1099 | 中分解能用(ピンスタブ) Small Tin on Carbon Resolution Standard (10-100nm) on 12.5 pin stub |
特に現代的な高解像度FEGSEMsに適しています。 |
| STC1099U | 中分解能用(マウント無) Small Tin on Carbon Resolution Standard (10-100nm)-Unmounted |
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STC5300 STC5300J STC5300H STC5300U |
分解能測定用(Universal)
Tin on Carbon Resolution Standard (5nm-30µm) on 12.5 pin stub (Null), on 10.0mm stub for Jeol (J), on M4 threaded stub for Hitachi (H), or Unmounted (U) |
単一較正試料を使用して、倍率・加速電圧・スポットサイズを広範囲に画像化できる球体サイズです。 |
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SST10 | Universal用(ピンスタブ)
Silicon Calibration Standard on 12.5 pin stub |
画像フィールドの歪みと倍率を比較評価に優れています。 外寸5×5mm、厚さ0.5mmの単結晶シリコンから作られ、10um単位で正四角に電子ビームリソグラフィで形成されています。 分割線幅は約1.9umで深さ約300nmです。光学顕微鏡やマクロフォトグラフィーの校正にも便利であるべく500um毎により広範なマーキングラインが施されています。 |
| SST10U | Universal用(マウント無)
Silicon Calibration Standard-Unmounted |
